近日，机械工业仪器仪表综合技术经济研究所2项国家自然科学基金项目圆满完成各项研究任务并顺利结题。
《面向川渝石窟预防性保护的文物本体与环境整体性分析方法研究》项目由安程博士牵头。项目建立了我国石窟主要影响参数集，形成了面向预防性保护的石窟病害劣化分层参数体系，建立了石窟文物本体与环境整体性模型；面向预防性保护的广元千佛崖监测、检测、模拟结合的技术体系落地方案，从本体及环境监测、本体检测等方面有效指导了广元千佛崖的相关保护工作，积累了符合石窟文物本体与环境整体性特性的监测、检测数据，实现了对大型石窟寺保护建筑的预防性保护效果评价。上述研究成果形成学术论文6篇（其中中文核心期刊3篇）、软件著作权1项、专著1部，其中学术专著《石窟环境监测模拟及整体性分析研究》获中国文物学会2019年度全国文化遗产优秀图书奖。
《基于纳米玻璃粉固态填充及热再流的TGV封装基础问题研究》由杜晓辉博士牵头。项目通过正交试验，获得了纳米玻璃粉末制备的较优工艺条件，实现了粒度小于1μm的玻璃粉末粒度分布占比求和达95.599%；通过优化粉末状态和烧结参数，获得较好玻璃粉末热熔回流效果的工艺参数；项目开发的纳米玻璃粉热再流技术能够较好兼容清洗腐蚀、机械减薄、化学机械抛光、光刻、干法刻蚀、金属溅射等传统MEMS工艺，可以开展圆片级批量工艺制造；项目设计并制备的谐振器工作在真空环境下时可获得1万以上的Q值，谐振频率在18kHz左右；项目建立了稳定时间、稳定性波动、稳定性变化量三个MEMS器件稳定性评价指标，评价了疲劳脉动、冷热循环和振动时效三种方法对MEMS器件稳定性提升的效果，为MEMS谐振器稳定性提升试验方法提供了良好的应用借鉴。上述研究成果形成学术论文7篇（其中EI3篇、中文核心期刊3篇）。
来源：科研发展处